製品情報
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製品情報 Product information
標準型クライオポンプ [16型]
CRYO-U16
特長
- 中、大型生産装置に最適です。
- バッチ式大型成膜装置に最適。
- 熱負荷に強いタイプ。
外形寸法 (単位:mm)
標準仕様
| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 5,000 |
| 水素 | 10,000 | ||
| アルゴン | 4,200 | ||
| 水 | 16,000 | ||
| 到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.4×103(11.0) |
| 排気容量 | アルゴン | Pa・L(Torr・L) | 4.3×108(3.3×106) |
| 水素 | 2.4×106(1.8×104) | ||
| 冷却降下時間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 110/100(50/60) | |
| 吸気口フランジ | UVG-400 | ||
| コンプレッサユニット | C30VRT | ||
| 質量 | Kg | 61.0 | |
*メンテナンスインターバル：16,000時間
*移動ベースはオプションです
