製品情報
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製品情報 Product information
標準型クライオポンプ [8型]
CRYO-U8H
特長
- 軽量・コンパクトで出荷台数も多く、クライオポンプのスタンダード。
- 実験装置、小型生産装置向き。
- マルチ運転（最大3台）が可能。
- 超高真空（10-8Pa以下）が可能。
外形寸法 (単位:mm)
標準仕様
| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 1,700 |
| 水素 | 2,700 | ||
| アルゴン | 1,400 | ||
| 水 | 4,000 | ||
| 到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.2×103(8.9) |
| 排気容量 | アルゴン | Pa・L(Torr・L) | 1.0×108(7.6×105) |
| 水素 | 1.0×106(7.6×103) | ||
| 冷却降下時間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 100/90(50/60) | |
| 吸気口フランジ | UVG-200,6BANSI,UFC-253 | ||
| コンプレッサユニット | C10, C10AT, C10ES | ||
| 質量 | Kg | 25 | |
*メンテナンスインターバル：16,000時間
