豊富なラインナップ、多くの実績に裏付けられた優れた信頼性、高性能と高品質のクライオポンプです。

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スパッタリングプロセス用

スパッタリングプロセス用クライオポンプは、排気容量をアップすることにより再生インターバルが長くなり、装置の稼働率の向上に貢献します。