製品情報
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製品情報 Product information
スパッタリングプロセス用クライオポンプ
CRYO-U12HSP
特長
- アルゴンの排気容量は標準機種(U12H)の約2倍。
- 水素の排気容量は標準機種(U12H)約1.5倍。
- 再生までのインターバルが長くなり、装置の稼働率の向上に貢献。
外形寸法 (単位:mm)
標準仕様
| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 4,100 |
| 水素 | 6,000 | ||
| アルゴン | 3,400 | ||
| 水 | 9,500 | ||
| 到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa・L/s(Torr・L/s) | 2.0×103(15.0) |
| 排気容量 | アルゴン | Pa・L(Torr・L) | 4.4×108(3.3×106) |
| 水素 | 1.6×106(1.2×104) | ||
| 冷却降下時間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 90/80(50/60) | |
| 吸気口フランジ | UVG-300,10BANSI | ||
| コンプレッサユニット | C30VR | ||
| 質量 | Kg | 42 | |
*メンテナンスインターバル：16,000時間
*移動ベースはオプションです
*コンプレッサユニットについてプロセスによってはC15Rの選択も可能です。
詳しくは弊社営業までお問い合わせください。
