产品信息

溅射镀膜专用低温泵
CRYO-U12HSP

特征

  1. 氩气排气量约为标准机型(U12H)的2倍。
  2. 氢气排气速度约为标准机型(U12H)的1.5倍。
  3. 有效延长了再生间隔时间,提高了装置运转率,增强了成膜品质。

外形尺寸(单位:mm)

标准规格

排气速度(20℃) 氮气 L/s 4,100
氢气 6,000
氩气 3,400
9,500
极限压力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 氩气 Pa・L/s(Torr・L/s) 2.0×103(15.0)
排气量 氩气 Pa・L(Torr・L) 4.4×108(3.3×106)
氢气 1.6×106(1.2×104)
冷却下降时间 min(Hz) 90/80(50/60)
吸气口法兰 UVG-300,10BANSI
压缩机装置 C30VR
重量 Kg 42

*保养周期:16,000小时
*移动底座是选购件

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