产品信息
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产品信息
溅射镀膜专用低温泵
CRYO-U8HSP
特征
排气量最大
- 氩气排气量约为标准机型（U8H）的2.5倍。
- 氢气排气速度约提高1.2倍。
外形尺寸（单位：mm）
标准规格
| 排气速度（20℃） | 氮气 | L/s | 1,700 |
| 氢气 | 3,200 | ||
| 氩气 | 1,400 | ||
| 水 | 4,000 | ||
| 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.2×103(8.9) |
| 排气量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 2.5×108(1.9×106) |
| 氢气 | 1.0×106(7.8×103) | ||
| 冷却下降时间 | min(Hz) | 110/100(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-200,6BANSI,UFC-253 | ||
| 压缩机装置 | C10,C10ES | ||
| 重量 | Kg | 33.2 | |
*保养周期：16,000小时
*移动底座是选购件
