製品情報
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製品情報 Product information
スパッタリングプロセス用クライオポンプ
CRYO-U10HSP
外形寸法 (単位:mm)
標準仕様
| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 2,400 |
| 水素 | 3,600 | ||
| アルゴン | 2,000 | ||
| 水 | 6,900 | ||
| 到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.30×103(9.8) |
| 排気容量 | アルゴン | Pa・L(Torr・L) | 2.0×108(1.5×106) |
| 水素 | 1.2×106(9.0×103) | ||
| 冷却降下時間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 120/110(50/60) | |
| 吸気口フランジ | UVG-250,10BANSI | ||
| コンプレッサユニット | C15R | ||
| 質量 | Kg | 36.0 | |
*メンテナンスインターバル：16,000時間
*移動ベースはオプションです
