产品信息

溅射镀膜专用低温泵
CRYO-U10HSP

标准规格

排气速度(20℃) 氮气 L/s 2,400
氢气 3,600
氩气 2,000
6,900
极限压力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 氩气 Pa・L/s(Torr・L/s) 1.30×103(9.8)
排气量 氩气 Pa・L(Torr・L) 2.0×108(1.5×106)
氢气 1.2×106(9.0×103)
冷却下降时间 min(Hz) 120/110(50/60)
吸气口法兰e UVG-250,10BANSI
压缩机装置 C15R
重量 Kg 36.0

*保养周期:16,000小时
*移动底座是选购件

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