アルバック・クライオ株式会社｜再生用コントロールユニット

特長

■構成

• 再生用コントロールユニット
• 電源ボックス(オプション)
• 再生ガス配管ユニット
  (ドライN₂ガス導入用)(PR型)
• 再生用バンドヒーター(RBH型)

現在お手持ちのクライオポンプをマニュアルでご使用の場合、また新しく クライオポンプを使用する排気系や真空装置をご計画中、或いは油拡散ポンプや ターボ分子ポンプとのリプレースの場合など再生を自動的に行うことが可能です。
メインバルブのコントロールから再生終了まですべて自動で行い、カレンダータイマー を指定時間にセットすれば、装置の停止時間帯に再生を行い必要な時間までに クライオポンプをスタンバイできます。
また、ご要望のフローに合わせてシーケンスの変更が可能です。