产品信息

标准低温泵16型
CRYO-U16

特征

  1. Suitable for medium and large-size equipments.
  2. Suitable for batch type large deposition systems.
  3. Resistant to thermal load.

外形尺寸(单位:mm)

标准规格

排气速度(20℃) 氮气 L/s 5,000
氢气 10,000
氩气 4,200
16,000
极限压力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 氩气 Pa・L/s(Torr・L/s) 1.4×103(11.0)
排气量 氩气 Pa・L(Torr・L) 4.3×108(3.3×106)
氢气 2.4×106(1.8×104)
冷却下降时间 min(Hz) 110/100(50/60)
吸气口法兰 UVG-400
压缩机装置 C30VRT
重量 kg 61.0

Wide Variety of Models, ranging from 6" diameter to 30" diameter.
*保养周期:16,000小时

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