製品情報
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製品情報 Product information
標準型クライオポンプ [16型]
CRYO-U16P
特長
- 中、大型生産装置に最適。
- CRYO-U16の高負荷型。
外形寸法 (単位:mm)
標準仕様
排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 5,000 |
水素 | 10,000 | ||
アルゴン | 4,200 | ||
水 | 16,000 | ||
到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
最大流量 | アルゴン | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.6×103(12) |
排気容量 | アルゴン | Pa・L(Torr・L) | 4.3×108(3.3×106) |
水素 | 2.4×106(1.8×104) | ||
冷却降下時間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 120/110(50/60) | |
吸気口フランジ | UVG-400 | ||
コンプレッサユニット | C30VRT | ||
質量 | Kg | 61.0 |
*メンテナンスインターバル:16,000時間
*移動ベースはオプションです