製品情報
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製品情報 Product information
標準型クライオポンプ [20型]
CRYO-U20P
特長
- 大型成膜装置等の生産装置に最適。
- バッチ式大型成膜装置に最適。
外形寸法 (単位:mm)
標準仕様
排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 10,000 |
水素 | 18,000 | ||
アルゴン | 8,400 | ||
水 | 29,000 | ||
到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
最大流量 | アルゴン | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.1×103(8.7) |
排気容量 | アルゴン | Pa・L(Torr・L) | 5.8×108(4.4×106) |
水素 | 4.6×106(3.4×104) | ||
冷却降下時間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 180/160(50/60) | |
吸気口フランジ | UVG-500 | ||
コンプレッサユニット | C30VRT | ||
質量 | Kg | 69.0 |
*メンテナンスインターバル:16,000時間