产品信息
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产品信息
标准低温泵20型
CRYO-U20P
特征
- Suitable for large deposition systems and other production equipment.
- Suitable for batch type large deposition systems.
外形尺寸（单位：mm）
标准规格
| 排气速度（20℃） | 氮气 | L/s | 10,000 |
| 氢气 | 18,000 | ||
| 氩气 | 8,400 | ||
| 水 | 29,000 | ||
| 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.1×103(8.7) |
| 排气量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 5.8×108(4.4×106) |
| 氢气 | 4.6×106(3.4×104) | ||
| 冷却下降时间 | min(Hz) | 180/160(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-500 | ||
| 压缩机装置 | C30VRT | ||
| 重量 | kg | 69.0 | |
*保养周期：16,000小时
Wide Variety of Models, ranging from 6" diameter to 30" diameter.
