製品情報
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製品情報 Product information
標準型クライオポンプ [22型]
CRYO-U22P
外形寸法 (単位:mm)
標準仕様
| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 11,500 |
| 水素 | 14,000 | ||
| アルゴン | 9,700 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.7×103(12.8) |
| 排気容量 | アルゴン | Pa・L(Torr・L) | 5.8×108(4.4×106) |
| 水素 | 6.0×106(4.5×104) | ||
| 冷却降下時間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 180/170(50/60) | |
| 吸気口フランジ | UVG-550 | ||
| コンプレッサユニット | C30PVRT | ||
| 質量 | Kg | 115.0 | |
*メンテナンスインターバル：16,000時間
