製品情報
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製品情報 Product information
標準型クライオポンプ [22型]
CRYO-U22WB
外形寸法 (単位:mm)
標準仕様
| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 13,000 |
| 水素 | 16,500 | ||
| アルゴン | 11,000 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa・L/s(Torr・L/s) | 3.5×103(26) |
| 排気容量 | アルゴン | Pa・L(Torr・L) | 8.1×108(6.1×106) |
| 水素 | 8.5×106(6.4×104) | ||
| 冷却降下時間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 165/150(50/60) | |
| 吸気口フランジ | UVG-550 | ||
| コンプレッサユニット | C30PMVRT×1 | ||
| 質量 | Kg | 125.0 | |
*メンテナンスインターバル：16,000時間
