製品情報
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製品情報 Product information
標準型クライオポンプ [8型]
CRYO-U8HL
特長
- 高さ方向が短く、コンパクトなデザイン。
- 装置のダウンサイジングに対応。
- マルチ運転(最大3台)が可能。
- 他のサイズのポンプでも製造が可能。
外形寸法 (単位:mm)
標準仕様
排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 1,500 |
水素 | 2,200 | ||
アルゴン | 1,200 | ||
水 | 4,000 | ||
到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
最大流量 | アルゴン | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.2×103(8.9) |
排気容量 | アルゴン | Pa・L(Torr・L) | 1.6×108(1.2×106) |
水素 | 1.2×106(9.0×103) | ||
冷却降下時間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 110/100(50/60) | |
吸気口フランジ | UVG-200 | ||
コンプレッサユニット | C10/C10T, C10AT | ||
質量 | Kg | 20 |
*メンテナンスインターバル:16,000時間