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Speed TS系列
特征
可代替氟利昂冷阱
- 大幅缩短排气时间，提高装置的运转效率。
- 因使用氦气，地球暖化系数为零。
（氟利昂冷阱的地球暖化系数为1,600～3,800） - 性能等高于氟利昂冷阱。
- 冷却、升温均在10分钟以内完成。
- 有效排气速度为10,000～100,000L/s。
- 因轻便、紧凑，实施操作起来简单。（设置空间只需氟利昂冷阱的1/3）
- 最适用于水分多的批处理式装置，光学成膜装置（适用于所有真空装置）。
